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            低溫真空泵是利用10K(-263℃)低溫制冷機作為冷源,通過低溫冷凝、低溫吸附的原理獲得無油高真空的設備,

      低溫真空泵廣泛應用于:DZB720低溫泵

         1)半導體、集成電路、光電器件的鍍膜工藝過程;

         2)光學鏡片鍍膜;

         3)磁控濺射鍍膜生產線;

         4)空間環境模擬;

         5)真空排氣臺等。

      低溫真空泵主要特點

         1)低溫真空泵是吸附式真空泵,工作時無需前級泵;

         2)低溫真空泵需要再生;

         3)低溫真空泵對不同氣體具有不同的抽速和抽氣容量。

      低溫真空泵的主要優點:

          1)高極限真空度?;拘涂蛇_10-6Pa真空度,特殊要求時可達10-7Pa以上;

          2)大抽速。對空氣尤其是對水蒸汽具有超高的抽速,其它真空泵不可比擬;

          3)真正潔凈。

          4)運行成本低

          5)安全可靠

          6)使用方便

          7)使用壽命長

      DZB系列低溫泵產品主要規格:

      DZB200~DZB550型低溫真空泵及參>>

      DZB630~DZB800型低溫真空泵及參數>>

      DZB900~DZB1250型低溫真空泵及參數>>


      IG系列是為高端真空裝備配備的全自動智能性低溫泵,具有如下特點:IG320F低溫泵

        1)具有快速再生功能

        2)具有完全再生功能

        3)自動檢測低溫泵真空度

        4)內部加熱及充氮氣全自動再生系統

        5)外置充氮氣裝置

        6)配置可接尾氣處理裝置的安全閥

        7)智能的“自適應”技術

      - 自動低溫熱載荷補償

      - 變頻電機系統

        8)更低的購置成本

      - 每臺壓縮機可支持更多的泵

      - 在產能沒有任何改變的情況下更節能

      - 變速電機可最大程度地延長泵的使用壽命

        9)可實現本地或遠程操作

        10)     配備操作手柄,可實現故障查詢及修改參數

      IG系型低溫真空泵及參數>>


      Xe15000型低溫泵是專為航天環境模擬器抽Xe所配備的低溫泵,其主要指標見PDF

      X15000氙泵規格書>>

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