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              低溫真空泵是利用10K(-263℃)低溫制冷機作為冷源,通過低溫冷凝、低溫吸附的原理獲得無油高真空的設備,

        低溫真空泵廣泛應用于:DZB720低溫泵

           1)半導體、集成電路、光電器件的鍍膜工藝過程;

           2)光學鏡片鍍膜;

           3)磁控濺射鍍膜生產線;

           4)空間環境模擬;

           5)真空排氣臺等。

        低溫真空泵主要特點

           1)低溫真空泵是吸附式真空泵,工作時無需前級泵;

           2)低溫真空泵需要再生;

           3)低溫真空泵對不同氣體具有不同的抽速和抽氣容量。

        低溫真空泵的主要優點:

            1)高極限真空度?;拘涂蛇_10-6Pa真空度,特殊要求時可達10-7Pa以上;

            2)大抽速。對空氣尤其是對水蒸汽具有超高的抽速,其它真空泵不可比擬;

            3)真正潔凈。

            4)運行成本低

            5)安全可靠

            6)使用方便

            7)使用壽命長

        DZB系列低溫泵產品主要規格:

        DZB200~DZB550型低溫真空泵及參>>

        DZB630~DZB800型低溫真空泵及參數>>

        DZB900~DZB1250型低溫真空泵及參數>>


        IG系列是為高端真空裝備配備的全自動智能性低溫泵,具有如下特點:IG320F低溫泵

          1)具有快速再生功能

          2)具有完全再生功能

          3)自動檢測低溫泵真空度

          4)內部加熱及充氮氣全自動再生系統

          5)外置充氮氣裝置

          6)配置可接尾氣處理裝置的安全閥

          7)智能的“自適應”技術

        - 自動低溫熱載荷補償

        - 變頻電機系統

          8)更低的購置成本

        - 每臺壓縮機可支持更多的泵

        - 在產能沒有任何改變的情況下更節能

        - 變速電機可最大程度地延長泵的使用壽命

          9)可實現本地或遠程操作

          10)     配備操作手柄,可實現故障查詢及修改參數

        IG系型低溫真空泵及參數>>


        Xe15000型低溫泵是專為航天環境模擬器抽Xe所配備的低溫泵,其主要指標見PDF

        X15000氙泵規格書>>

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